氧化铌靶材怎样清洁呢

日期:2022-07-25 浏览:56

   氧化铌靶材清洁的目的是去除靶材表面可能存在的灰尘或污垢。 河北东同光电接下来告诉我们具体的清洁方法吧。

40bd7d54700d9899945e044423bc21b8_c2_20161012102048_34705.jpg     金属靶材可以通过四步清洁,
     第一步用在丙酮中浸泡过的无绒软布清洁;
     第二步与第一步类似用酒精清洁;
     第三步用去离子水清洗。在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。 氧化物及陶瓷靶材的清洗建洁用“无绒布”进行清洁。
     第四步在清除完有污垢的区域后,再用高压低水气的氩气冲洗靶材, 以除去所有可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒。
     以上新闻是氧化铌靶材的清洁与保养,由河北东同光电科技有限公司编辑部编辑,详询请登录官网http://www.dongtongtech.com/

首页
电话
短信
联系