关于铝钛合金靶材性能,制备方法及其应用介绍

日期:2022-07-25 浏览:59

铝钛合金靶材是一种用于溅射镀膜的材料,主要由铝和钛两种金属元素组成。它具有高纯度、高密度、高溅射速率等特点,广泛应用于电子、光学、光伏等领域。铝钛合金靶材的性能取决于其成分和生产工艺,通常可以通过调整铝和钛的比例来获得不同的性能。我们的铝钛合金靶材还可以根据客户的需求进行定制。


铝钛合金靶材


铝钛靶材特征

铝钛靶材形状平面靶、异型定制

铝钛靶材纯度:2N5,3N

铝钛靶材尺寸:按图纸加工或其他者定制

我们还可以提供铝钛合金颗粒、铝钛合金板、铝钛合金棒等


铝钛合金靶材制备工艺

将铝粉和钛粉按一定比例混合(原子比为50-70:30-50)。混合方式为机械混合、真空混料或惰性保护气体混合,混合时间为30min以上,得到铝钛粉混合粉末;

将铝钛混合粉末装入到金属包套中,通过震动和捶打包套外围使粉末装填密实。焊接好金属包套的端盖、抽气管,把金属包套放入加热炉中,连接抽气管至真空机组,进行升温抽气,抽气的温度为350-600℃,保持温度待真空度达到1.5×10-3pa后,把抽气管压扁封焊;

抽完气的金属包套装入热等静压设备进行热等静压烧结,热等静压的温度为600-880℃,压力为150mpa,保温保压5h,得到铝钛靶包套;

热等静压后的铝钛靶材经车削加工去除外包套后,可以加工成所需形状的铝钛靶材。

该发明制备的铝钛靶材溅射镀膜成膜效果好,膜层不易开裂脱落,膜基结合力强,符合刀具或装饰镀厂家的实际需求。

铝钛合金靶材成分表

上图是铝钛合金靶材的材质单。


铝钛合金靶材应用

装饰镀膜:主要用于手机、手表、眼镜、卫生洁具、五金零件等产品的表面镀膜,不仅起到美化色彩的作用,同时也具有耐磨、耐蚀等功能。

低辐射镀膜玻璃:利用磁控溅射原理在玻璃上溅射多层薄膜,以达到节能、控光、装饰的作用。

工模具镀膜:用于工具、模具的表面强化,能显著提高工具、模具的使用寿命和被加工零件的质量。

太阳能电池镀膜:溅射镀膜工艺是被优先选用的制备方法,用于制造太阳能电池。


铝钛合金靶材图片


铝钛合金其他应用

航空航天领域:铝钛合金因其高温性能和高强度,广泛应用于航空航天领域,如发动机部件、燃气涡轮、火箭喷嘴等。

车辆制造:铝钛合金在汽车、火车和船舶制造中也有广泛应用,用于制造轻质、高强度的部件,以提高交通工具的燃油效率和安全性。

化工设备:铝钛合金具有良好的耐腐蚀性,适用于制造化工设备,如反应器、储罐、管道等。

能源领域:铝钛合金在发电设备、核能设备及太阳能设备等领域也有广泛应用,如制造涡轮叶片、热交换器等。

医疗器械:铝钛合金具有生物相容性,适用于制造医疗器械,如人工关节、手术刀等。

电子领域:铝钛合金靶材广泛应用于电子工业,如制造集成电路、光电子器件等。


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