关于氧化铝靶材性能,制备方法及其应用介绍

日期:2022-07-25 浏览:67

氧化铝靶材图片


氧化铝靶材也称为三氧化二铝靶材,其纯度99.99%,密度9.7g/cm3,是一种可根据需求定制的材料。它的折射率为0.17~9Ц,性能上适合于电子枪蒸发,能够形成光滑致密的膜层,具有很好的抗化学腐蚀能力。


氧化铝靶材特征

氧化铝靶材形状:平面靶、异型定制

氧化铝靶材纯度:4N

氧化铝靶材尺寸:按图纸加工或其他者定制

我们还可以提供氧化铝颗粒、氧化铝粉末、氧化铝陶瓷件等


氧化铝靶材制备工艺

选择粒径1-5um的球形α-Al2O3粉为原料,将原料粉末装入石墨模具中;

对装模后粉末进行加热和增压处理,加热温度选择1500℃之一,压力保持50MPa不变;

通过真空或惰性气体保护的粉末成型气氛的条件,制备高致密溅射靶材半成品;

对半成品进行加工处理,确保所有平面保持平整,得到所需要的氧化铝靶材。


氧化铝靶材


氧化铝靶材应用

半导体制造:用于制造集成电路中的绝缘层和导电层,对提高芯片性能至关重要。

光学涂层:用于制造反射镜和防护涂层,提高光学设备的耐用性和性能。

表面工程:在工业刀具和机械零件上应用,以提高耐磨性和耐腐蚀性。

微电子器件:如晶体管和电容器中的绝缘层,确保电子设备的稳定运行。

光学元件:如相机镜头和望远镜的反射镜,增强成像质量。

硬质涂层:应用于工业刀片和钻头,延长其使用寿命。


氧化铝其他应用

耐火材料:氧化铝具有很高的熔点和化学稳定性,常用于制造各种耐火材料,如耐火砖、浇注料、捣打料等,用于冶金、化工、建材等行业的高温炉窑。

结晶形态:氧化铝有多种结晶形态,如α-Al2O3、β-Al2O3、γ-Al2O3等。其中,α-Al2O3是常见的形式,具有很高的硬度和耐磨性,广泛应用于研磨、抛光等领域。

砂轮和磨具:氧化铝是砂轮和磨具的主要磨料之一,具有较高的硬度和耐磨性,适用于金属、玻璃、陶瓷等材料的磨削和抛光。

陶瓷材料:氧化铝是陶瓷材料的重要组成部分,用于制备陶瓷基板、陶瓷刀具、陶瓷轴承等,具有高硬度、高耐磨性和良好的绝缘性能。

涂料和颜料:氧化铝用于制备各种涂料和颜料,具有良好的耐候性和遮盖力,应用于建筑、家具、塑料等行业。

纳米材料:氧化铝可用于制备纳米材料,如纳米氧化铝粉体、纳米氧化铝透明薄膜等,具有独特的物理和化学性能,应用于电子、光学、催化等领域。

氧化铝靶材:氧化铝靶材用于物理气相沉积(PVD)过程中的溅射靶材,应用于电子、光学、薄膜等领域。

吸附剂和催化剂:氧化铝具有丰富的孔道结构和高比表面积,可用作吸附剂和催化剂,应用于石油、化工、环保等领域。


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