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氧化铌靶材怎样清洁呢

时间:2017/12/15 15:18:27   来源:   作者:   点击:447次
      氧化铌靶材清洁的目的是去除靶材表面可能存在的灰尘或污垢。 河北东同光电接下来告诉我们具体的清洁方法吧。
     金属靶材可以通过四步清洁,
     第一步用在丙酮中浸泡过的无绒软布清洁;
     第二步与第一步类似用酒精清洁;
     第三步用去离子水清洗。在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。 氧化物及陶瓷靶材的清洗建洁用“无绒布”进行清洁。
     第四步在清除完有污垢的区域后,再用高压低水气的氩气冲洗靶材, 以除去所有可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒。
     以上新闻是氧化铌靶材的清洁与保养,由河北东同光电科技有限公司编辑部编辑,详询请登录官网http://www.dongtongtech.com/
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