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陶瓷靶材的种类及其应用

时间:2017/12/22 10:00:47   来源:   作者:   点击:531次

      随着电子产业的发展,高技术材料逐渐向薄膜转移,镀膜期间随之发展迅速,陶瓷靶材是一种具有高附加值的特种电子材料,是溅射薄膜材料的源极。陶瓷靶材作为非金属薄膜产业发展的基础材料,已得到空前的发展,靶材市场规模日益膨胀。国内的陶瓷平面靶材主要采用烧结及绑定工艺,可生产最大长度600mm,最大宽度400mmm,最大厚度30mm,圆角、斜边、台阶等异形根据客户要求加工。
    陶瓷靶材的种类:
    (1)按应用来分,可分为半导体关联陶瓷靶材、显示陶瓷靶材、磁记录陶瓷靶材、光记录陶瓷靶材、超导陶瓷靶材、巨磁电阻陶瓷靶材等。
    (2)按化学组成,可分为氧化物陶瓷靶材、硅化物陶瓷靶材、氮化物陶瓷靶材、氟化物陶瓷靶材和硫化物陶瓷靶材等。其中平面显示ITO陶瓷靶材国内已广泛生产应用。高介电绝缘膜用陶瓷靶材和巨磁电阻陶瓷靶材具有广阔的应用前景。

      陶瓷靶材在现有的复杂电子产品制造中,只不过占工程的极少部分,但起到了信息产业基础先导材料的作用。    国内的陶瓷平面靶材主要采用烧结及绑定工艺,可生产最大长度600mm,最大宽度400mmm,最大厚度30mm,圆角、斜边、台阶等异形根据客户要求加工。我国电子信息产业发展很快,陶瓷溅射靶材的需求逐年增多,未来对陶瓷溅射靶材的研究和开发,是我国靶材供应商的一个重要的课题。

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