技术介绍

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绑定优势

技术特点

生产规格

. 平面矩形靶材单片绑定长度≤2m,背板不变形,不拉伸
. 平面圆片靶材最大绑定≤Φ650mm
. 可做硫化钼、石墨、铁氟龙等难绑靶材绑定
. 采用铟焊料焊接,结合率≥95%
. 靶材纯度高3N-4N,烧结过程中不添加任何助剂
. 致密性高,可达到理论密度98%-99%,性能均一
. AZO粉体自制,粒径微纳米级,原料稳定性和批次性一致
. 靶材导电性能可根据客户需求设计定制
. 平面靶材:圆片≤Φ450mm;矩形≤410mm*320mm;厚度可定制
. 旋转靶材:内径Φ45mm-Φ150mm;厚度可定制;单节长度≤250mm